1、气体系统的管道材质及附件应按照设计要求选配，目前主要使用的有无缝不锈钢管和脱脂紫铜管为常见，负压吸引一般采用镀锌管或不锈钢管。管道内表面应光滑、耐磨损且表面吸附解吸气体的作用小。管材应放在室内保管，不得重叠码放，管道应无裂纹、缩孔、夹渣、起瘤、折叠、重皮、锈斑、表面损伤等缺陷。
2、管道系统的安装应符合相关设计要求，设计无要求时应敷设在人员不易碰撞到的高度上，否则应有防护装置。管道的连接件宜采用成品连接件，安装前应按照相关规定方法进行脱脂，脱脂应在远离洁净室的地点进行并做好操作人员的安全与环境保护工作。
3、穿过围护结构进入洁净室的管道应设套管，套管内管材不应有焊接与接头。施工完毕，应按照要求进行吹扫和气密性检查。
4、又接地要求的管道，法兰间必须接有多芯导电跨线。
5、气体管道应在气密性检验合格后进行泄漏率检查，以设计压力保持24h后泄漏率不超过0.5%为合格，允许堵漏后再试验。
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